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Durchflussregelung bei der CVD-Beschichtung: Präzises Messen und Regeln

CVD-Metallbeschichtung: Gleichbleibend und exakt mit Mass Flow Metern (MFM) und Mass Flow Controllern (MFC) von Bürkert.

  • Grafische Darstellung eines Teils einer Anlage zur CVD-Werkzeugbeschichtung
  • Grafische Darstellung von Werkzeugen, die CVD-beschichtet sind
  • Grafische Darstellung von Schwingungen zum Coriolis-Prinzip plus Massendurchflussmesser und Massendurchflussregler
  • Grafische Darstellung Bürkert- Massendurchflussregler plus Symbol Hand mit Daumen oben
  • Grafische Darstellung Massendurchflussregler mit Anbindung

CVD-Metallbeschichtung

Beschichtungen machen Werkzeuge oder metallische Oberflächen verschleißfest und langlebig. Zu den Beschichtungsverfahren zählt CVD, „Chemical Vapour Deposition“. CVD-Verfahren beruhen auf der Abscheidung von Feststoffen aus der Gasphase, auch chemische Gasphasenabscheidung genannt.

CVD ist eine Dünnschichttechnologie: Bei dieser durchläuft flüssiges Material ein Dosiersystem, bevor es verdampft und in einen Reaktor gelangt. Gasförmiges Material lagert sich als feiner, fester Film auf der metallischen Oberfläche ab.
Im Dosiersystem übernehmen Mass Flow Meter (MFM) und Mass Flow Controller (MFC) von Bürkert die exakte Dosierung der mikroskopisch kleinen Mengen an Flüssigkeit.

Grafische Darstellung einer Anlage zur CVD-Werkzeugbeschichtung

Vorteile CVD-Metallbeschichtung

✓ Exzellente Haftung und Konturenfolgung der Schicht
✓ Auch bei komplexen Geometrien
✓ Höchste Schichthärten

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Beschichtungslösungen für Werkzeuge: Typische Herausforderungen

Herausforderungen für Anlagenbauer
Zeit- und Kostendruck steigen. Mit der Zahl der Varianten steigt Ihr Aufwand:

  • Für Beschaffung / Logistik
  • Für den Service bestehender Anlagen

Vielseitig einsetzbare und einfach zu wartende Komponenten erleichtern Ihre Arbeit.

Herausforderungen für Beschichter
Ihr Angebot umfasst möglichst viele Werkzeuge. Die Preiskategorien variieren, die Qualität dagegen muss stets konstant bleiben.

  • Der Kostendruck ist hoch
  • Einsparungen im Beschichtungsprozess wirken sich positiv für Sie aus
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Die Lösung: MFM und MFC für Flüssigkeiten

Typ 8756 von Bürkert, nach Bedarf konfiguriert als Mass Flow Meter (MFM) oder Mass Flow Controller (MFC).

Vorteile MFM/MFC für Flüssigkeiten

  • Maximaler Durchfluss 25 kg/h
  • Höchste Mess- und Wiederholgenauigkeit
  • Auch für aggressive Flüssigkeiten geeignet
  • Dichte- und Temperaturmessung inklusive
  • Optional: Konformität nach USP Class VI, FDA, EG 1935
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Grafische Darstellung des Massendurchflussmessers 8756

Massendurchflussmesser
MFM Typ 8756

  • Misst Flüssigkeitsströme bis zu 25 kg/h
  • Ist ausgelegt auf kleinste Mengen und aggressive Flüssigkeiten
  • Seine Genauigkeit von 0,2% vom Messwert macht ihn zu einem der exaktesten Durchflussmesser für kleine Flüssigkeitsströme
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Grafische Darstellung des Massendurchflussreglers 8756 mit Mikrozahnringpumpe

Massendurchflussregler
MFC Typ 8756 mit Mikrozahnringpumpe

  • Misst den Durchfluss und regelt ihn hochpräzise
  • Soll-Durchflusswert exakt einstellbar dank sehr hoher Auflösung und gleichmäßigem Betrieb der Pumpe
  • Pumpe auch für aggressive Flüssigkeiten dank hochwertiger, mediumsberührter Materialien
  • Kompakt und platzsparend ist die Pumpe direkt am MFC angebaut

Massemessung: Auf den µm genau

Der MFM/MFC Typ 8756 misst konkurrenzlos genau

  • Sie erzielen hochpräzise Schichten
  • Sie können Ihr Angebot an Beschichtungen erweitern

Ein Gerät für eine Vielzahl an Flüssigkeiten
Der MFM/MFC Typ 8756 wird unabhängig vom Medium kalibriert sowie justiert und arbeitet mit purer Massemessung. Ihr Vorteil: Sie können die Geräte für jede beliebige Flüssigkeit einsetzen.

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6 Argumente für MFM/MFC Typ 8756

Durchfluss messen mit Coriolis-Prinzip

Die Typ 8756 Mass Flow Meter und Mass Flow Controller von Bürkert basieren auf dem Coriolis-Messprinzip. Bei der Beschichtung von Werkzeugen und anderen Metalloberflächen erzeugen Sie damit gleichbleibende Qualität:

  • Sie messen / regeln die Durchflusswerte konstant und störungsfrei
  • Sie erhalten gleichbleibend exakte Ergebnisse, da die Geräte robust und vibrationsfest sind
  • Sie messen die Flüssigkeitsmasse unabhängig von Medium, Temperatur oder Druck

So funktioniert das Coriolis-Prinzip

Rohrschwingungen bei Durchfluss einer Flüssigkeit
Rohrschwingungen ohne Medium
Massendurchflussmesser MFM Typ 8756
Massendurchflussregler MFC Typ 8756 mit Mikrozahnringpumpe

Durchflussmesser von Bürkert enthalten ein Messrohr, das sinusförmig in Schwingung versetzt wird (siehe im Bild Auslenkung zum Zeitpunkt t1). Detektoren am Anfang und am Ende des Messrohres erfassen die zu bestimmten Zeitpunkten vorliegende Auslenkung. Sobald eine Flüssigkeit durch das Rohr fließt, wird das Rohr an den Enden zum Zeitpunkt t2 phasenverschoben ausgelenkt. Diese Phasenverschiebung ist proportional zu dem Massestrom und ergibt einen Rückschluss auf den Massefluss.

Pluspunkte Coriolis
  • Universelles Messsystem für Masse und Dichte
  • Arbeitet unabhängig von Leitfähigkeit, Ein- und Auslaufstrecken, Strömungsprofil, Messstoffdichte, Druck und Temperatur
  • Liefert exakte Ergebnisse
  • Ohne bewegliche Teile

Schnittstellen für einfache Anbindung

Digital oder analog: Die Anbindung ist denkbar einfach. Nutzen Sie die vorhandenen Schnittstellen und schließen Sie die MFM/MFC-Geräte flexibel an Ihre Anlage an.

Pluspunkt digitale Anbindung:

  • Sie sparen Zeit für Neueinstellungen bei Folgeprojekten
  • Sie wiederholen Ihre Beschichtungsprozesse jederzeit exakt

Bürkert Massendurchflussmesser und -regler enthalten einen Konfigurationsspeicher. Dieser sichert sämtliche Einstellungen, was einen Gerätewechsel vereinfacht.

MFC Typ 8756 mit Mikrozahnringpumpe
Konfigurationsspeicher in Form einer SIM-Karte
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MFM/MFC Typ 8756 rechnet sich für Sie

Langfristig wirtschaftlich: Betrieb und Qualitätssicherung der Bürkert Massemesser sind um ein Vielfaches günstiger als bei herkömmlichen Lösungen – Ihre Anschaffung amortisiert sich früher.

Annahmen 1. Rechenbeispiel:

  • Erstausstattung einer bestehenden Anlage mit zwei Geräten
  • Anlage läuft 24 h pro Tag
  • Ein Bearbeitungsprozess à 100 Teile dauert 4 h plus 2 h zum Umrüsten, ergibt 4 Prozesse und 400 Teile pro Tag
  • In einem Jahr mit 200 Arbeitstagen entstehen 80.000 Teile

10-Jahres-Betrachtung für die Kosten des Anlagenbetriebes

Herkömmliche Lösung Volumenmesser
Bürkert Lösung Massemesser mit Coriolis

 

1. Ersatzbedarf / 2. Instandhaltungskosten / 3. Anlagenstillstandskosten

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Qualitätssicherungskosten / Annahme einer einprozentigen Beeinflussung durch diese Durch­flussmessung und 350 € durchschnittlicher Kosten für die Qualitätsprüfung.

Annahmen 2. Rechenbeispiel:

  • Anzahl produzierte Teile Tag / Jahr: 400 / 80.000
  • Kosten für die Prüfung eines Teils: 350,00 €
Verschärfte Prüfung (Annahme 10%-Prüfung)
Reduzierte Prüfung (Annahme 2%-Prüfung)
Bürkert Lösung Massemesser mit Coriolis
Herkömmliche Lösung Volumenmesser
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