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Platzsparende und wartungsfreie Temperierlösungen für Ihre CVD-Beschichtungsanlagen

Die Entwicklung und Produktion von CVD-Beschichtungsanlagen ist komplex und erfordert spezielles Know-how. Das gilt insbesondere für die Kühlung. Dabei ist das Zusammenspiel von Sensoren und Aktoren für Kühlsysteme Ihrer Anlage entscheidend. Bürkert kann Ihnen, dank der großen Auswahl an Komponenten und einer langjährigen Erfahrung, eine individuell an Ihre Anforderungen angepasste Kühllösung anbieten. Wir stehen Ihnen dabei von der Planung bis hin zur Inbetriebnahme und Wartung als kompetenter Fluidikpartner zur Seite.

  • Grafische Darstellung Block mit drei Ventilen und Durchflusssensor; Pfeil, Symbol Uhr
  • Grafische Darstellung eines Diagramms mit zwei ansteigenden Kurven schwarz und blau, y-Achse mit Symbol Geldmünzen, x-Ache mit Symbol Stückzahl; Darstellung eines komplexen technischen Bauteils, zugeordnet der schwarzen Kurve und eines kleineren Bauteils, zugeordnet der blauen, niedriger verlaufenden Kurve
  • Grafische Darstellung eines größeren Schaltschrankes und einer Einheit aus zwei kleineren Schaltschränken; Darstellung eines komplexen technischen Bauteils, zugeordnet dem größeren Schaltschrank und eines kleineren Bauteils, zugeordnet den beiden kleineren Schaltschränken; die Schaltschränke umhüllt von zwei gleich große Kuben aus punktierten Linien
  • Grafische Darstellung einer Weltkarte; darauf Würfel, welche Städte markieren, Minaturen von Schachteln, Ventilen und eines Transportfahrzeugs; links und rechts der Weltkarte je dieselbe Detaildarstellung einer Anlage mit zentral platziertem Block mit drei Ventilen; links mit einem rot gefärbten Ventil
  • Fotografie einer technischen Anlage, darin ein grün-bläulich schimmernder Wafer

Begrenzte räumliche Kapazitäten und erschwerte Maschinenwartung in CVD-Beschichtungsanlagen

CVD-Beschichtungsanlagen müssen Höchstleistungen bringen, um wirtschaftlich zu arbeiten. Dabei spielt die effektive Kühlung eine entscheidende Rolle. Denn die CVD-Beschichtung soll sich ausschließlich auf dem Substrat niederlegen und nicht im Reaktor.
Insgesamt sollte die Beschichtungsanlage so kompakt wie möglich sein. Deshalb ist in herkömmlichen Lösungen aufgrund der beengten Platzverhältnisse der Austausch von Komponenten schwierig. Oft müssen ganze Teilsysteme aufwendig demontiert werden, um an das eigentliche Verschleißteil zu gelangen. Zudem dauert die Beschaffung der auszutauschenden Teile sehr lange.

Herstellung monokristallines Silizium
Monokristallines Silizium
Geschnittene Wafer
Kühlflüssigkeit
Reaktor
Herkömmliche Lösungen
Reaktor
Wärmetauscher

Vielseitige und wartungsarme Systemlösungen für Ihre Kühlaufgaben

Bürkert unterstützt Sie mit seiner fluidtechnischen Erfahrung bei einer optimierten und individuell abgestimmten Kühllösung Ihrer Gasabscheidungsanlage. Aus der Kombination von bauraumoptimierten, geschweißten oder gespant hergestellten Blocklösungen mit hochwertigen Edelstahlfittingen entstehen kompakte, genau an Ihre Anforderungen angepasste fluidische Lösungen. Die bewährte und zuverlässige Bürkert-Technik zeichnet sich durch eine sehr hohe Lebensdauer aus. Dadurch erhöht sich Ihre Prozesssicherheit und Wartungen werden nahezu überflüssig.

Platzsparende, geschweißte oder gespant hergestellte Blocklösungen

Grafische Darstellung von verschiedenen einzelnen Fluidik-Komponenten auf der linken Seite; in der Mitte Block mit drei Ventilen, Symbol Herz mit Kreispfeil; rechts vier übereinander angeordnete Varianten von Blöcken mit anderen Ventiltypen; Pfeile

Die Vorteile der Bürkert-Systemlösung:

Individuelle Fluidikblöcke für minimale Stillstandszeiten

Entsprechend Ihren Anforderungen integriert die Bürkert-Lösung eine Vielzahl von Komponenten in einem zentralen Fluidikblock oder in mehreren Fluidikblöcken. Dabei passen wir unsere Systemlösungen an Ihren Platzbedarf, den gewünschten Funktionsumfang, Ihr Wartungskonzept und an die vorgegebene digitale Kommunikationsinfrastruktur an.

Die Bürkert-Systemlösungen passen wir zu 100 % an Ihre Anforderungen an

Grafische Darstellung von verschiedenen einzelnen Fluidik-Komponenten auf der linken Seite, Pfeile; rechts komplexer Block mit Ventilen und Sensoren, Verrohrung

Vergleich der Montagezeiten einer herkömmlichen verrohrten Lösung mit einer Bürkert-Systemlösung

In diesem Rechenbeispiel zeigen wir, wie viel Montagezeit Sie mit der Bürkert-Lösung bei Ihrem Bauteillieferanten einsparen können. Nach dem Motto „Zeit ist Geld“ bedeuten die verkürzten Montagezeiten für Sie enorme Kosteneinsparungen.

Konventionelle Lösung vs. Bürkert-Lösung

Herkömmliche Lösung als 3-fach-Block: Einzelteilmontage aus Rohrfittingen, d.h.: 4 T-Stücke, 2 Rohrbögen, 12 Doppelnippel, 3 Muffenventile, 8 Verschraubungen montieren, Ausrichtung der Komponenten
Kalkulationsgrundlage: 48 min für die flüssigdichtend konischen Gewinde, 2 min pro Gewindeverbindung bei 24 Gewinden, 8 min für 4 Schrauben der Montagehalter
Bürkert-Lösung: Montagezeit eines Ventilblocks, bestehend aus 3 Ventilkörper, 8 Edelstahlverschraubungen, 2 Blindstopfen montieren
Kalkulationsgrundlage: 6 min für 3 Ventilkörper, 8 min für 8 Edelstahlverschraubungen, 4 min für die Montage von 2 Blindstopfen
Die Montagezeit reduziert sich um ca. 38 min pro Einheit. Es werden also zwei Drittel der Montagezeit eingespart.

Herkömmliche Lösung als 3-fach-Block versus Bürkert-Lösung: Die Montagezeit reduziert sich um ca. 38 min pro Einheit. Es werden also zwei Drittel der Montagezeit eingespart.

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