Platzsparende und wartungsfreie Temperierlösungen für Ihre CVD-Beschichtungsanlagen

Die Entwicklung und Produktion von CVD-Beschichtungsanlagen ist komplex und erfordert spezielles Know-how. Das gilt insbesondere für die Kühlung. Dabei ist das Zusammenspiel von Sensoren und Aktoren für Kühlsysteme Ihrer Anlage entscheidend. Bürkert kann Ihnen, dank der großen Auswahl an Komponenten und einer langjährigen Erfahrung, eine individuell an Ihre Anforderungen angepasste Kühllösung anbieten. Wir stehen Ihnen dabei von der Planung bis hin zur Inbetriebnahme und Wartung als kompetenter Fluidikpartner zur Seite.

Begrenzte räumliche Kapazitäten und erschwerte Maschinenwartung in CVD-Beschichtungsanlagen

CVD-Beschichtungsanlagen müssen Höchstleistungen bringen, um wirtschaftlich zu arbeiten. Dabei spielt die effektive Kühlung eine entscheidende Rolle. Denn die CVD-Beschichtung soll sich ausschließlich auf dem Substrat niederlegen und nicht im Reaktor.
Insgesamt sollte die Beschichtungsanlage so kompakt wie möglich sein. Deshalb ist in herkömmlichen Lösungen aufgrund der beengten Platzverhältnisse der Austausch von Komponenten schwierig. Oft müssen ganze Teilsysteme aufwendig demontiert werden, um an das eigentliche Verschleißteil zu gelangen. Zudem dauert die Beschaffung der auszutauschenden Teile sehr lange.

Ein Fluidik-Konzept für eine Beschichtungsanlage ist sehr anspruchsvoll und aufwendig. Angefangen beim Engineering, über die Auswahl und Erprobung der Komponenten im Zusammenspiel bis zu deren Kauf, Montage und dem ordnungsgemäßen Betrieb.

Grafische Darstellung von links nach rechts: PC-Arbeitsplatz plus Figur in Arbeitskleidung, darüber eine Sprechblase mit einem Fluidikplan und Fragezeichen – Figur in Arbeitskleidung, die eine komplexe technische Einheit zusammensetzt, Schachteln, in denen sich Bauteile befinden – Figur in Arbeitskleidung mit einem Zettel in den Händen vor einer größeren technischen Anlage in einem Schrank, geöffnete Tür

Die Konstruktion herkömmlicher Kühlsysteme besteht aus zahlreichen Komponenten und hat einen hohen Platzbedarf. Gerade bei Anlagen, die in kostenintensiven Reinräumen arbeiten, sollte die Baugröße der Beschichtungsanlage jedoch so klein wie möglich sein.

Grafische Darstellung: rechts größerer Schrank mit technischer Anlage, sechs Pfeile nach außen in alle Raumrichtungen, darin Kubus; links Kubus vergrößert dargestellt, darin komplexe technische Einheit, sechs Pfeile nach außen in alle Raumrichtungen; in der Mitte Pfeil von links nach rechts weisend

Beim Einsatz von Einzelkomponenten und deren Verrohrung gibt es viele Dichtstellen. Damit verbunden ist ein erhöhtes Leckagerisiko. Leckagen und aufwendige Wartungen verlängern die Stillstandszeiten und reduzieren die Produktionsstückzahlen der CVD-Beschichtungsanlage.

Grafische Darstellung von links nach rechts: größerer Schrank mit technischer Anlage, Detailansicht in Lupe – Figur in Arbeitskleidungmit Schraubenschlüssel in der Hand, die eine komplexe technische Einheit repariert, darum herum verstreut Bauteile – Schrank mit technischer Anlage, Förderband mit Reihe von Halbleiter-Chips, das Ganze durchgestrichen

Ein reibungsloser Produktionsablauf in CVD-Beschichtungsanlagen ist essenziell. Der Einsatz von Sonderteilen bringt im Wartungsfall einen hohen Logistikaufwand mit sich. Die Versorgung mit Ersatzteilen dauert zudem enorm lang und kann zu Ausfallzeiten in der Produktion führen.

Grafische Darstellung von links nach rechts: komplexere technische Einheit, Rauchfahne, Symbol Achtungzeichen – Weltkarte; darauf Würfel, die Städte markieren, Minaturen von Schachteln, Ventile, Transportfahrzeug – Figur in Arbeitskleidung kniend vor einem Schrank, geöffnete Tür, darin größere technischen Anlage sichtbar

Vielseitige und wartungsarme Systemlösungen für Ihre Kühlaufgaben

Bürkert unterstützt Sie mit seiner fluidtechnischen Erfahrung bei einer optimierten und individuell abgestimmten Kühllösung Ihrer Gasabscheidungsanlage. Aus der Kombination von bauraumoptimierten, geschweißten oder gespant hergestellten Blocklösungen mit hochwertigen Edelstahlfittingen entstehen kompakte, genau an Ihre Anforderungen angepasste fluidische Lösungen. Die bewährte und zuverlässige Bürkert-Technik zeichnet sich durch eine sehr hohe Lebensdauer aus. Dadurch erhöht sich Ihre Prozesssicherheit und Wartungen werden nahezu überflüssig.

Platzsparende, geschweißte oder gespant hergestellte Blocklösungen

Grafische Darstellung von verschiedenen einzelnen Fluidik-Komponenten auf der linken Seite; in der Mitte Block mit drei Ventilen, Symbol Herz mit Kreispfeil; rechts vier übereinander angeordnete Varianten von Blöcken mit anderen Ventiltypen; Pfeile

Die Vorteile der Bürkert-Systemlösung:

Dank der hochwertigen und langlebigen Bürkert-Komponenten werden Ihre Anlagen zuverlässiger. Störungen und aufwendige Wartungen gehören der Vergangenheit an.

Grafische Darstellung Block mit drei Ventilen, Durchflusssensor; Pfeil, Symbol Uhr

Die Bürkert-Baugruppen werden in unseren eigenen Werken gefertigt – ohne Abhängigkeiten von langen Lieferketten. Aufgrund großer Lagerbestände liefern wir im Notfall direkt. Die Plug-and-play-Lösungen ermöglichen eine schnelle Montage und minimieren die Stillstandszeiten.

Grafische Darstellung einer Weltkarte; darauf Würfel, welche Städte markieren, Minaturen von Schachteln, Ventilen und eines Transportfahrzeugs; links und rechts der Weltkarte je dieselbe Detaildarstellung einer Anlage mit zentral platziertem Block mit drei Ventilen; links mit einem rot gefärbten Ventil

Mit Bürkert-Systemlösungen müssen Sie keine einzelnen Komponenten mehr zusammenbauen. Dies reduziert die Montagezeiten der Kühlsysteme und damit die Herstellungskosten der gesamten Beschichtungsanlage.

Grafische Darstellung eines Diagramms mit zwei ansteigenden Kurven, schwarz und blau, y-Achse mit Symbol Geldmünzen, x-Ache mit Symbol Stückzahl; Darstellung eines komplexen technischen Bauteils, zugeordnet der schwarzen Kurve und eines kleineren Bauteils, zugeordnet der blauen, niedriger verlaufenden Kurve

Stückzahl

Manuelle Lösung und Bürkert-Lösung im Vergleich:
Bei Komponentenkosten von 200 € und einer Montagezeit von 50 Minuten, die 100 € Montagekosten beansprucht, führt die manuelle Lösung zu einer Kostensumme von 300 €.
Bei der Bürkert-Lösung dagegen reduziert sich die Montagezeit auf 20 min. Dies entspricht Montagekosten von 40 €. Somit belaufen sich die Gesamtkosten auf 240 €. Bei steigender Stückzahl wirken sich die Einsparungen von 20 % enorm auf Ihre Gesamtmontagekosten aus.

Die kompakte Bauweise des Systems lässt Spielraum für individuelle Designs und benötigt wenig Bauraum. Besonders bei Anlagen, die in teuren Reinräumen betrieben werden, ist ein platzsparendes Design entscheidend. Damit können entweder mehr Maschinen in einem Raum platziert werden oder bei einem Neubau die Räume kleiner geplant werden.

Grafische Darstellung eines größeren Schaltschrankes und einer Einheit aus zwei kleineren Schaltschränken; Darstellung eines komplexen technischen Bauteils, zugeordnet dem größeren Schaltschrank und eines kleineren Bauteils, zugeordnet den beiden kleineren Schaltschränken; die Schaltschränke umhüllt von zwei gleich große Kuben aus punktierten Linien

Platzbedarf im Reinraum: links herkömmliche, rechts Bürkert-Lösung

Im komplett verschweißten Bürkert-System gibt es keine Schnittstellen, an denen Leckagen auftreten könnten. Dadurch entfallen aufwendige Wartungsarbeiten und Ihre CVD-Beschichtungsanlage läuft zuverlässig.

Grafische Darstellung eines Ventilblocks, Lupe, transparente Detaildarstellung in Kreis, dort Flüssigkeit im Inneren sichtbar; Pfeil, Darstellung einer herkömmlichen Lösung aus einzelnen Bauteilen, verschmutzt und mit herabtropfender Flüssigkeit, das Ganze durchgestrichen

Das Bürkert-Temperiersystem lässt sich in sehr kurzer Zeit ganz einfach per Plug-and-play in Ihre CVD-Beschichtungsanlage einbauen. Im Wartungsfall können Sie Komponenten schnell austauschen.

Grafische Darstellung eines Ventilblocks, zwei der Ventile mit Steuerköpfen

Je nachdem wie Ihre Anlage aufgebaut sein soll, passen wir das modulare Fluidiksystem und die notwendige Peripherie perfekt an Ihre Anforderungen an.

Grafische Darstellung von links nach rechts: Ventilblock, Pfeil – Detail einer Anlage mit offenen Rohrleitungen, Pfeil – dasselbe Detail mit eingesetztem Ventilblock; darüber Lupe mit Detailansicht

Individuelle Fluidikblöcke für minimale Stillstandszeiten

Entsprechend Ihren Anforderungen integriert die Bürkert-Lösung eine Vielzahl von Komponenten in einem zentralen Fluidikblock oder in mehreren Fluidikblöcken. Dabei passen wir unsere Systemlösungen an Ihren Platzbedarf, den gewünschten Funktionsumfang, Ihr Wartungskonzept und an die vorgegebene digitale Kommunikationsinfrastruktur an.

Die Bürkert-Systemlösungen passen wir zu 100 % an Ihre Anforderungen an

Grafische Darstellung von verschiedenen einzelnen Fluidik-Komponenten auf der linken Seite, Pfeile; rechts komplexer Block mit Ventilen und Sensoren, Verrohrung

Vergleich der Montagezeiten einer herkömmlichen verrohrten Lösung mit einer Bürkert-Systemlösung

In diesem Rechenbeispiel zeigen wir, wie viel Montagezeit Sie mit der Bürkert-Lösung bei Ihrem Bauteillieferanten einsparen können. Nach dem Motto „Zeit ist Geld“ bedeuten die verkürzten Montagezeiten für Sie enorme Kosteneinsparungen.

Konventionelle Lösung vs. Bürkert-Lösung

Herkömmliche Lösung als 3-fach-Block versus Bürkert-Lösung: Die Montagezeit reduziert sich um ca. 38 min pro Einheit. Es werden also zwei Drittel der Montagezeit eingespart.